半導體製造技術pdf

① 半導體基本概念

半導體是一種電導率在絕緣體至導體之間的物質，其電導率容易受控制，可作為信息處理的元件材料。從科技或是經濟發展的角度來看，半導體非常重要。很多電子產品，如計算機、行動電話、數字錄音機的核心單元都是利用半導體的電導率變化來處理信息。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業應用上最具有影響力的一種。

基本簡介

半導體

顧名思義：常溫下導電性能介於導體(conctor)與絕緣體(insulator)之間的材料，叫做半導體（semiconctor）。

物質存在的形式多種多樣，固體、液體、氣體、等離子體等等。我們通常把導電性和導電導熱性差或不好的材料，如金剛石、人工晶體、琥珀、陶瓷等等，稱為絕緣體。而把導電、導熱都比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱為導體。可以簡單的把介於導體和絕緣體之間的材料稱為半導體。與導體和絕緣體相比，半導體材料的發現是最晚的，直到20世紀30年代，當材料的提純技術改進以後，半導體的存在才真正被學術界認可。

半導體的分類，按照其製造技術可以分為：集成電路器件，分立器件、光電半導體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等大類，一般來說這些還會被分成小類。此外還有以應用領域、設計方法等進行分類，雖然不常用，單還是按照IC、LSI、VLSI（超大LSI）及其規模進行分類的方法。此外，還有按照其所處理的信號，可以分成模擬、數字、模擬數字混成及功能進行分類的方法。

基本定義
電阻率介於金屬和絕緣體之間並有負的電阻溫度系數的物質。

半導體室溫時電阻率約在10E-5～10E7歐·米之間，溫度升高時電阻率指數則減小。

半導體材料很多，按化學成分可分為元素半導體和化合物半導體兩大類。

鍺和硅是最常用的元素半導體；化合物半導體包括Ⅲ-Ⅴ 族化合物（砷化鎵、磷化鎵等）、Ⅱ-Ⅵ族化合物(硫化鎘、硫化鋅等)、氧化物(錳、鉻、鐵、銅的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體（鎵鋁砷、鎵砷磷等）。除上述晶態半導體外，還有非晶態的玻璃半導體、有機半導體等。

半導體（東北方言）：意指半導體收音機，因收音機中的晶體管由半導體材料製成而得名。

本徵半導體

不含雜質且無晶格缺陷的半導體稱為本徵半導體。在極低溫度下，半導體的價帶是滿帶(見能帶理論)，受到熱激發後，價帶中的部分電子會越過禁帶進入能量較高的空帶，空帶中存在電子後成為導帶，價帶中缺少一個電子後形成一個帶正電的空位，稱為空穴。導帶中的電子和價帶中的空穴合稱電子 - 空穴對，均能自由移動，即載流子，它們在外電場作用下產生定向運動而形成宏觀電流，分別稱為電子導電和空穴導電。這種由於電子-空穴對的產生而形成的混合型導電稱為本徵導電。導帶中的電子會落入空穴，電子-空穴對消失，稱為復合。復合時釋放出的能量變成電磁輻射（發光）或晶格的熱振動能量（發熱）。在一定溫度下，電子 - 空穴對的產生和復合同時存在並達到動態平衡，此時半導體具有一定的載流子密度，從而具有一定的電阻率。溫度升高時，將產生更多的電子 - 空穴對，載流子密度增加，電阻率減小。無晶格缺陷的純凈半導體的電阻率較大，實際應用不多。

分立功率器件按照功率的大小劃分為大功率半導體器件和中小功率半導體器件。具體來說，大功率晶閘管專指承受電流值在200A 以上的晶閘管產品；大功率模塊則指承受電流25A 以上的模塊產品；大功率IGBT、MOSFET 指電流超過50A 以上的IGBT、MOSFET 產品。

1956 年美國貝爾實驗室（Bell Lab）發明了晶閘管，國際上，70 年代各種類型的晶閘管有了很大發展，80 年代開始加快發展大功率模塊，同時各種大功率半導體器件在歐美日有很大的發展，90 年代IGBT 等全控型器件研製成功並開始得到應用。

在國內，60 年代晶閘管研究開始起步，70 年代研製出大功率的晶閘管，80年代以來，大功率晶閘管在中國得到很大發展，同時開始研製模塊；本世紀以來，開始少量引進超大功率晶閘管（含光控晶閘管）技術；近年來國家正在逐步引進IGBT、MOSFET 技術。中國宏觀經濟的不斷成長，帶動了大功率半導體器件技術的發展和應用的不斷深入。

晶閘管、模塊、IGBT 的發明和發展順應了電力電子技術發展的不同需要，是功率半導體發展歷程中不同時段的重要標志產品，他們的應用領域、應用場合大部分不相同，小部分有交叉。在技術不斷發展和工藝逐步改善的雙重推動下，[1]大功率半導體器件將向著高電壓、大電流、高頻化、模塊化、智能化的方向發展。在10Khz 以下、大功率、高電壓的場合，大功率晶閘管和模塊具有很強的抗沖擊能力及高可靠性而占據優勢，同時又因成本較低、應用簡單而易於普及。在10Khz 以上、中低功率場合，IGBT、MOSFET 以其全控性、適用頻率高而占據優勢。

② 半導體製造行業的技術人員應該學習點什麼知識

多學習一下半導體材料相關知識。比如《固體物理》、《半導體物理》等理論知識。
學習一下晶元製造的一些工藝流程如《晶元製造》等相關工具書。

③ 半導體的發展史

1、1833年，英國科學家電子學之父法拉第最先發現硫化銀的電阻隨著溫度的變化情況不同於一般金屬，一般情況下，金屬的電阻隨溫度升高而增加，但法拉第發現硫化銀材料的電阻是隨著溫度的上升而降低。這是半導體現象的首次發現。

2、1839年法國的貝克萊爾發現半導體和電解質接觸形成的結，在光照下會產生一個電壓，這就是後來人們熟知的光生伏特效應，這是被發現的半導體的第二個特性。

3、1873年，英國的史密斯發現硒晶體材料在光照下電導增加的光電導效應，這是半導體的第三種特性。

4、1874年德國的布勞恩觀察到某些硫化物的電導與所加電場的方向有關，即它的導電有方向性，在它兩端加一個正向電壓，它是導通的；如果把電壓極性反過來，它就不導電，這就是半導體的整流效應，也是半導體所特有的第四種特性。同年，舒斯特又發現了銅與氧化銅的整流效應。

5、半導體的這四個特性，雖在1880年以前就先後被發現了，但半導體這個名詞大概到1911年才被考尼白格和維斯首次使用。而總結出半導體的這四個特性一直到1947年12月才由貝爾實驗室完成。

(3)半導體製造技術pdf擴展閱讀：

最早的實用「半導體」是「電晶體（Transistor）/二極體（Diode）」。

1、在無線電收音機（Radio）及電視機（Television）中，作為「訊號放大器/整流器」用。

2、發展「太陽能（Solar Power）」，也用在「光電池（Solar Cell）」中。

3、半導體可以用來測量溫度，測溫范圍可以達到生產、生活、醫療衛生、科研教學等應用的70%的領域，有較高的准確度和穩定性，解析度可達0.1℃，甚至達到0.01℃也不是不可能，線性度0.2%，測溫范圍-100~+300℃，是性價比極高的一種測溫元件。

4、半導體致冷器的發展, 它也叫熱電致冷器或溫差致冷器, 它採用了帕爾貼效應.

④ 半導體製造技術如何自學

以你的基礎，不太適合太追求理論。你應該首先培養自己的實際能力，說白了就是多幹活，多摸機台。尤其是看到有人拆機台，安裝機台的時候就在旁邊看，如果允許，就多動動手。搞清楚機台的每個部分干什麼的。
除此以外，要多關注人家做試驗的結果，就算不理解為什麼，也拿個小本子記記。碰到厲害的人，就把你的小本子上記的東西拿過去問人家。
這樣做到一定階段，基本上沒有人比你對實際東西熟悉的時候，你可以學學半導體物理什麼的。
我這招叫做從實踐通理論。呵呵。也有從理論通實踐的，不過那個不太適合你。

⑤ 海力士半導體製造技術員 tech是什麼意思做什麼工作的

部門 崗位 崗位說明
工程管理
事務職 班長 管理操作工；提高設備生產效率；工程師與操作工之間溝通及命令下達
Eng'r 操作文件的提高說明；減少和解決生產中的事故與問題；改良產品質量，提高良率
工程管理 Opr Operator 操作檢查和分析的機器；提高設備的生產效率；報告生產中的事故和問題
工程技術 DIFF Eng'r 估算生產能力；確立/計算投資成本；產品選擇/產品評估/質量提高；提高質量指標及生產效率；減少/防止工程事故/工程問題
工程技術 Etch Eng'r 製造半導體工程中Process Set-up；管理裝備；提高工程質量；降低成本；提高生產率
工程技術 Photo Eng'r 生產線監控，提高產能，提高良率，編寫Scanner, Track, Overlay,CD-SEM的Job File,提高光刻工藝寬容度，解決工藝問題
Tech 管理光刻reticle和光刻膠，向裝備輸入程序recipe，解決簡單工藝問題
工程技術C&C Eng'r 對產品問題和缺陷進行分析，找到產生缺陷原因，並決定消除缺陷和改善產品質量應該採取的措施，以提高產品良率。
工程技術T/F Eng'r 製作產品說明和規格文檔；提高工程質量，最優化工程以提高產量
人事 社規管理/福利厚生 為了有效運營人力資源,制定各項制度及改善,並支援福利
人事評價/職務/晉升 員工的人事評價(業績,能力評價),實施定期晉升, 職責任命
勞務管理/獎懲/苦衷 勞資情報的收集/維護勞資雙方的平衡,監督職的任命, 獎勵/懲戒的有效運營,提高員工的工作積極性及強化員工的基本遵守
ER Manager 中方人員的人事管理總負責 (勞務管理,獎勵,懲戒,評價,出勤,工資等)
教育/評價管理 負責員工入門、技術、在職培訓及其他預言培訓，樹立每年培訓計劃及預算及進行等
自動化 Eng'r Eng'r Infra System, 軟體應用和AMHS系統的開發與性能分析
自動化 Tech Tech Infra System, 軟體應用和AMHS系統的維護
裝備技術 DIFF Tech TPM活動；提高設備的工作速度；設備安裝及重置；貫徹執行FDC以及自動化生產操作體系
Eng'r 確立/計算投資成本；設備安裝及重置；提高設備的工作速度；最大化設備的性能和效率
裝備技術 Photo Eng'r 管理並維護裝備良好狀態，管理Spare Part，PM計劃安排，編寫PM Sheet及技術規范，聯系設備製造商並參加trouble分析會議，排除裝備故障
Tech 執行周期性PM，常規裝備故障排除，更換Spare Part，記錄PM sheet
裝備技術C&C 技能職 需要掌握設備組裝和拆卸技能，維護設備正常運行，解除設備故障，提高產品良率
Eng'r 及時發現設備故障原因並找到解除故障方法，維護及改造設備提高其性能，提高產品良率
裝備技術Etch 技能職 保養及預防活動；新舊設備的安裝，設置；裝備性能的提升和改善
裝備技術T/F Tech 排除故障；提高機器可運作時間
Eng'r 提高工具可運作時間；降低製造成本；維護改造設備以提高其性能
製造 班長 女性,倒班，有半導體工作經驗1年以上，最好是前道工藝,如光刻（Photo、黃光）、干濕腐蝕（Etch、蝕刻)、擴散（Diffusion)、注入（IMP）、CVD，PVD（濺射）、CMP等，有班組長經驗者優先。負責帶班管理區域內操作員工，完成生產任務。
教育擔當 女性,有半導體工作經驗1年以上，最好是前道工藝,如光刻（Photo、黃光）、干濕腐蝕（Etch、蝕刻)、擴散（Diffusion)、注入（IMP）、CVD，PVD（濺射）、CMP等，有班組長經驗者，有多種操作證者優先，有半導體作業教育經驗者、懂韓語者優先,能夠倒班。負責新進作業員的教育培訓和作業員的技能訓練的計劃、組織和實施。
資材及HOT 資材，正常班，男女不限，熟悉半導體前道生產用小工夾具，能吃苦，懂英語或韓語，負責凈化間內生產用工夾具，防塵服等管理；HOT ，女，倒班，跟蹤優先批流通並保證進度完成,熟練使用EXCEL軟體。
Operator 女性,倒班，能吃苦，懂簡單的英語和計算機知識，有半導體工作經驗者優先，最好是前道工藝,如光刻（Photo、黃光）、干濕腐蝕（Etch、蝕刻)、擴散（Diffusion)、注入（IMP）、CVD，PVD（濺射）、CMP等。負責操作機器，服從分派，完成生產任務。
Part長/先任班長 Part長:正常班，有5英寸以上半導體前道工藝工作經驗5年以上，有生產主管工作經驗或同等管理經驗。熟練使用英語，和辦公軟體，負責區域內各班次生產管理，管理Supervisor和shift leader；shift leader :倒班，負責整條生產線的生產平衡和調配管理，管理supervisor;Supervisor:,倒班，有半導體工作經驗2年以上，最好是前道工藝,如光刻（Photo、黃光）、干濕腐蝕（Etch、蝕刻)、擴散（Diffusion)、注入（IMP）、CVD，PVD（濺射）、CMP等，有班組長經驗者優先,負責管理各區域內生產事項，管理班長。
Technician 日常監控、確認，mmy wafer管理，日常小故障的處理
製造企劃 事務職 製造企劃投資管理
采購 部品采購 設備零件需給及維修
原材料采購 原材管理安定化(交貨期管理及請購)
設施采購 輔資材需給及實物管理
總務 福利厚生(食堂) 餐廳管理
接待擔當 來訪人員的行程管理、及計劃管理
接待擔當者 來訪人員具體接待工作的實施
通信/廣播擔當者 通信交換機伺服器，VOICEMAIL， PAGING STSTEM （軟硬體）維護，廣播系統，專業英語流利（聽說讀寫），管理通信Maint，通信Operator和廣播Maint，會管理及評估通信工程．
通信Maint 通信線路維護、檢修及正常運行
通信Ope'r 接線員，內外電話查詢、轉接等
設施維護 廠房基礎設施（地板、照明、水、等）的日常維護及保養
Show-room擔當 展廳的管理，及公司介紹
舍監 宿舍管理
設備Eng'r 空調Part 要求工廠空調設備運維經驗(冰水主機Chiller，中央空氣處理系統，熱鍋爐，泵，風機等) 優先： 凈化間設備運維（ 超凈間空氣處理單元，洗氣塔，過程冷卻用水，超純水）
排管/UT Part 工廠排管設備施工(水系統，壓縮氣體系統，超純水系統)
電氣Part 通過廠內電氣設備的運行管理及維護活動 以及新增,補加電氣設備施工計劃的實施，維持電力供應的穩定性，支援生產活動的圓滿成功
設備Tech 空調Part 機械裝備的點檢及維護.有機械設備的相關知識及經驗.
排管/UT Part 熱輸送網的點檢及維護.有配管設備的相關知識及經驗.
電氣Part 進行電氣機器的點檢,配電機,電氣控制,裝備的運行,電氣設備的安裝,調整,修理 .有電氣的知識
財務會計 成本 成本核算、成本分析、熟悉ERP系統
會計總體業務 提供公司各種報表及數據，並定期提出相關分析報告
國稅/地稅 稅務及出口退稅流程、納稅申報及其相關的會計核算、和稅務相關部門聯系
財務 應收/應付/固定資產 相關業務
資材 化學品管理 原材管理安定化 (交貨期管理及請購）
SPARE PART 設備零件需給及維修
副材料管理 輔資材需給及實物管理
進出口通關 原材料通關 及時、無障礙得完成料件的清關，確保資財的庫存量
設施再通關 Managing the whole progress involved with Local flow of Imported & Exported Goods；1. Clear the imported goods through the customs and CIQ 2. Prearrangement for Import and export
ESH 保健 職員健康檢查, 職業病預防.管理, 運營附屬醫院, 作業環境檢測/改善管理, 促進健康活動，
安全消防 氣體安全管理, 有害危險器材管理, QUAL/安全改善活動, CMS室/建立急救應急小組, 消防設施.危險品管理， MSDS管理, 消防/安全施工管理/監督，災害調查/統計分析
ESH企劃 ESH 確立戰略, ESH 運行經營系統, ESH 教育/公關業務, ESH 投資/預算管理,部門人力企畫/管理，法定許可證總括
ESH技術 凈 · 廢水廠的施工管理/監督，危險物/節約用水，預防環境事故，廢棄物的管理，大氣污染源管理/改善活動，毒性/土壤/噪音管理，環境范圍許可證
IT 程序開發 GW/EMAIL的日常維護管理
OA 運營/PC 保安 PC/Printer/NB等電算設備日常維護及PC保安管理
SAP 開發 SAP二次開發
SAP 運營 SAP維護管理
System 運營 Server維護管理
MI 事務職 班長 監測設備的溫度、壓力等狀況，屬於操作工的一種.
MI Eng'r Engineer 檢測工藝生產過程的顆粒、缺陷；測量厚度，電阻和應力等； 分析工藝上產生該問題的原因； 採取措施及時彌補並解決問題。
Technician 採取措施來維護裝備性能;對設備的精確性和可靠性進行維護。
QC Supervisor 1.支持協助質量工程師執行質量程序和政策 2.報告FAB的質量狀況 3.鑒別檢查的缺陷並在質量報告中做出指示算機操作能力，懂英語或韓語 4.收集缺陷樣品並向相關部門報告 5.協助質量經理監管質量操作工 6.要有良好的溝通能力和計
Operator 職責：1.負責產品檢驗和完成質量紀錄 2. 收集和保存質量檢測數據 3.維護及控制在線的所有檢驗文件及紀錄
要求：1. 由顯微鏡操作經驗 2. 有產品檢驗工作經驗 3. 有凈化室工作經驗者尤佳
企劃 企劃 整體協調公司各部門業務，處理跨部門協作綜合事項；制定公司經營計劃。
對外關系 與政府機關部門建立並維持良好關系，爭取政府機關對公司的各方面協作與支持。
法務 組織各部門合同審查，收集並轉交專業意見；公司合同整理歸檔、保管。
宣傳 收集新聞，部門采訪，設計並製作公司社刊，對外宣傳。

⑥ 什麼是半導體製造工藝中的深槽隔離技術

現在用深槽隔離了嗎？淺槽隔離技術是STI，是指隔離有源區的一個槽，用多晶硅填起來，深槽隔離是不是槽做的更深啊，沒聽過。

⑦ 半導體製造技術有點不明白：為什麼要做外延層離子注入摻雜時，比如說硼離子摻雜，那麼發射的是硼離子還

1。外延生長的單晶硅質量比bulk silicon高，生產出來的transistor質量高，

2。發射的是硼離子, 摻雜完矽片接地電子就補充進來了，這樣就電中性了。

⑧ 做半導體的封裝和測試應該學什麼知識

《半導體物理學》，我這里就有一本，84年的，現在應該有更新的版號了，介紹半導體的原理，器件的生成，加工工藝。